In-line system
CNI Technology凭借差异化技术能力，成功引领真空自动化系统相关项目。
-
- Mask stocker
- Mask stocker是在第八代OLED工艺中保管metal mask的chamber，由mask cassette、up/down module和forward/backward roller module等构成。
-
- Buffer chamber
- Buffer chamber的作用是在移送OLED 第八代基板时调整基板间距。通过最大限度地减少并精准控制基板间距，可以提高蒸镀物质使用效率。
-
- Load lock
- 是适用Fast pumping & vent、low particle generation技术的第八代load lock。驱动roller时，利用Ferro-seal直连型最大限度减小了腔体体积。
-
- 光罩 flipper
- 是以face up或face down翻转光罩的腔体，同时可以对光罩进行pre-heating或cooling。
-
- Carrier elevator
- Carrier elevator是与AGV/MGV进行interface，将carrier投入至真空腔体的设备，由up/down module、sliding module构成。
-
- Liner Buffer
-
Linear buffer是为从cluster tool搬送至In-line设备
而开发的设备，由top linear stage、bottom livear
stage、up/down module、aligner等构成。
从Cluster搬送至In-line时，
内置可以修正光罩位置偏差的aligner，
从而可实现精准搬送。
另外还可以适用变更pass line的application。
