본문바로가기

技术

  • 技术

阴极

Magnetron cathode是sputter系统的核心模块，通过最优化magnetron设计，能够实现target的效率与生产性最大化。
CNI Technology为提供客户所需的最佳解决方案，执行magnet design、magnetic filed simulation、结构解析等，
提供针对性magnetron cathode。

아이콘
Magenetic field analysis

磁场解析是Magnetron cathode的核心技术，拥有以长期经验和B-filed simulation技术为基础，
按照靶材与工艺提供最佳magnetron design的技术能力。
凭借magnet design专业技术，保障了50%以上的target erosion efficiency。

  • Conventional technology

    20%

  • lmproved technology

    40%

  • Oprimized technology

    60%
아이콘
Optimized Design

CNI Technology的Cathode应用了最佳设计核心要素，一切只为客户的便捷与稳定运营。

아이콘
Target utilization

若使用CMC-RT series cathode，可实现圆筒型靶材Erosion efficiency达到85%以上的高效溅射。

  • 예시이미지

    Full-erosion cylindrical target

  • 예시이미지

    Full-erosion cylindrical target