VACUUM AUTOMATION SYSTEM

끊임없는 열정으로 항상 발전하는 씨앤아이테크놀로지가 되겠습니다.

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Platform은 진공로봇을 이용하여 대기에서 공정모듈로 기판을 이송시키는 tool로서 Semiconductor, LCD, OLED, Solar cell, LED 등 산업 전반에 다양하게 활용되고 있습니다. Platform은 automation, throughput, footprint, reliability 등이 중요한 기술이며 씨앤아이테크놀로지는 이 분야에서의 다양한 경험과 높은 수준의 기술력을 바탕으로 최고의 platform 개발을 위하여 끊임없이 노력하고 있습니다.

FLETA2600™

FLETA2600™은 2세대 기판 사이즈에 적합하게 설계되었으며, 공정모듈을 지원할 수 있는 4개의 Facet과 inverter, load lock으로 구성되어 있습니다.

FLETA1600™

FLETA1600™은 8”부터 12” wafer까지 대응할 수 있게 설계되었으며, 공정모듈을 지원할 수 있는 4개의 Facet과 2개의 VCE로 구성되어 있습니다.