VACUUM AUTOMATION SYSTEM

끊임없는 열정으로 항상 발전하는 씨앤아이테크놀로지가 되겠습니다.

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씨앤아이테크놀로지는 차별화된 기술력을 바탕으로 진공 자동화 시스템관련 프로젝트를 성공적으로 이끌었습니다.

Mask stocker

Mask stocker는 8세대 OLED 공정에서 metal mask를 보관하는 chamber로서 mask cassette, up/down module, forward/backward roller module 등으로 구성되어 있습니다.

buffer chamber

buffer chamber는 OLED 8세대 기판을 이송 시, 기판 간의 간격을 조절하는 챔버입니다. 기판 간의 간격을 최대한 줄이고 정밀 제어함으로써, 증착물질 사용 효율을 높일 수 있습니다.

Load lock

Fast pumping & vent, low particle generation 기술이 적용된 8세대 load lock 입니다. 구동 roller의 경우, Ferro-seal 직결 type으로 챔버 용적을 최대한 줄였습니다.

Glass flipper

Glass를 face up 또는 face down으로 반전하는 챔버이며, 동시에 glass를 pre-heating 또는 cooling할 수 있습니다.

Carrier elevator

Carrier elevator는 AGV/MGV와 interface되어 carrier를 진공챔버로 투입시키는 장비로서, up/down module, sliding module로 구성되어 있습니다.

Linear buffer

Linear buffer는 cluster tool에서 In-line장비로 반송이 가능할 수 있도록 개발된 장비로서, top linear stage, bottom linear stage, up/down module, aligner 등으로 구성되어 있습니다. Cluster에서 In-line으로 반송될 때 glass의 위치 틀어짐을 보상할 수 있는 aligner가 탑재되어 있어 정밀한 반송이 가능합니다. 또한 pass line이 변경되는 application 적용이 가능합니다.